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合作厂商

  • 无铜硅晶圆

    品牌:DEEPLIGHT
    产地:瑞士
    型号:无铜硅晶圆

产品详情
1.产品特点:
    全球首款面向集成光子的无铜硅晶圆。
    采用无铜硅晶圆构建无吸收损耗的光子集成电路,面向超低损耗和可重复的晶圆级光子性能而设计。
    铜污染--规模化光子器件的关键瓶颈。 
2.核心优势:
   在晶圆加工过程中,即使痕量铜也会扩散进入介质 PIC层。在低损耗光子集成电路中,这种污染会形成吸收中心,导致热漂移并降低 Q 因子。 
   Deeplight的无铜硅晶圆从基底层面消除这一限制,可实现:
   超低热漂移与高度稳定的谐振
   超低光学损耗与持续稳定的高 Q 因子
   整片晶圆范围内器件性能保持一致
  Si3N4微谐振腔中可预测、可重复的孤子形成
3.应用领域:
    适用于高性能微梳、下一代LiDAR、精密传感平台、通信系统和量子光子器件。
    铜污染会在规模化制造中破坏低损耗集成光子电路的稳定性。
    随着应用从实验室走向商业系统,这一污染问题可能成为器件性能的关键障碍。
4.技术规格 
  深光提供100mm和150mm硅晶圆   ,专门设计用于防止铜扩散进入光子器件层。我们不是在后段工艺中补救吸收相关退化,而是在基底层面去除根因。
  由此形成更洁净的材料平台,在整片晶圆制造和封装流程中保持光学纯度。
  无需修改您现有的光子芯片制造工艺,完全不影响代工厂兼容性。
  特有专利
 

尺寸(英寸)

4 / 6

热氧化层厚度( nm)

0 – 9000

最小订购量(片)

10

硅晶圆厚度

300 – 500 µm

  
 
 
5.行业拓展
  深光无铜晶圆可消除铜向光子层迁移的问题,去除光学吸收和热漂移的重要来源。基于这种洁净的基底平台,Si3N4微谐振腔能够实现稳定、可重复的孤子形成;即使在约40GHz的低重复频率、热敏感性很高的条件下也能保持稳定。
这使得无需复杂调谐方案即可实现确定性的 DKS生成,为下一代相干传感、精密定时和通信系统提供可靠的微梳运行基础。

  

图 2:铜污染对孤子台阶长度的影响(左);基于无铜硅晶圆制备的 100 GHz FSR Si3N4 微谐振腔单孤子光谱(右)。

 


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